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Reinigungssysteme
GFPS Reinigungssysteme für FOUPS
Patent erteilt
Vollautomatisches integriertes AMHS-System für die FOUP-Reinigung, das die höchsten Anforderungen der Branche erfüllt. Trennung der FOUP-Schalen- und Deckeloberflächen, um Kreuzkontaminationen zu vermeiden und den Verbrauch zu reduzieren.
- Keine Beeinflussung durch die Reinigungskammer
- Zuerst außen, dann innen reinigen und anschließend vakuumieren
- Höchster Durchsatz > 30 FOUPS pro Stunde auf kleinster Grundfläche von 8 m²
- Modulares Konzept für schnellen Aufbau und Installation
- Spezielle Reinigung des Dichtungsbereichs mit einem Badverfahren
- Neues FOUP-Handling zur Minimierung der Umweltauswirkungen
- Für High-End-Anwendungen unterhalb der 3nm-Technologie
- Konfigurierbar für RSP 150/200
- Keine Beeinflussung des RSP durch Fliehkräfte
- Keine Beeinflussung durch die Reinigungskammer
- Modulares Konzept für schnellen Aufbau und Installation
- Vakuumbehandlung als Option
GRPS Reinigungssysteme für RSP
zum Patent angemeldet
Vollautomatisches RSP-Reinigungssystem bei Bedarf. Abtrennung der zu reinigenden Oberflächen. Höchster Durchsatz bei geringem Platzbedarf in Verbindung mit dem AMHS für vollautomatischen HOST-Betrieb.
GEPS Reinigungssysteme für EUV
zum Patent angemeldet
Vollautomatischer EUV-Pod-Reiniger für den AMHS-integrierten HOST-gesteuerten Betrieb.
- Erst Außenreinigung, dann Innenreinigung von EOP
- Spezielle Reinigung des Dichtungsbereichs mit einem Badverfahren
- Keine Beeinflussung durch die Reinigungskammer
- EIP-Reinigung mit Megasonic
- Separate Vakuumbehandlung für EOP und EIP
- N2-Atmosphäre als Option
