Reinigungssystem für FOUPS
GFPS
GFPS ist ein patentiertes, vollautomatisches, AMHS-integriertes System für die FOUP-Reinigung, das die höchsten Anforderungen der Branche übertrifft.
Durch die kompakte Bauweise kann enorm viel Platz im Reinraum der Halbleiterfabrik eingespart werden, da die Maschinen direkt aneinander gereiht werden können.
Mit dem GFPS FOUP Reiniger ist ein Servicezugang ausschließlich von vorne und hinten notwendig. Durch die modularisierte Bauweise können Stillstandzeiten bei Ausfällen extrem minimiert werden.
Die Oberflächen des FOUP „Shell“ und „Door“ sind zur Vermeidung von Kreuzkontaminationen und Reduzierung des Verbrauchs getrennt.
Da das GFPS System keine Reingungskammer nutzt, hat diese auch keinen Einfluss auf das Reinigungsergebnis. Im GFPS dient die “Shell” als Kammer.
Die Außenreinigung des FOUP erfolgt komplett separat und trocken, so dass keine Verunreinigungen der Außenflächen die inneren Flächen des FOUPS beeinflussen.
Die Reinigung erfolgt in drei Prozessschritten
- Außenreinigung (trocken)
- Innenreinigung mit DI-Wasser und trocknung mit ultrareiner Warmluft, zur Abreingung von Partikeln.
- Vakuum-Behandlung zur Entferneung von Restfeuchte und chemischen Kontaminierungen.
Höchster Durchsatz im Vergleich zu Mitbewerbern <30 FOUPS pro Stunde bei kleinstem Footprint von nur 8 qm.
Durch extrem modularen Aufbau, schneller und leichter Aufbau und Installation sowie vereinfachte Wartung und Reparatur
Die Reinungungs Performance übertrifft die Anforderungen moderner High End Strukturen auf den Halbleitern (< 16 nm)